易威奇化学补给泵CFD系列IWAKI易威奇

易威奇化学补给泵CFD系列IWAKI易威奇

每次注射1mL，大大提高了点胶性能。

每次喷射 1mL，大大提高了点胶性能

Iwaki 推出了 Iwaki 化学品补充泵 CFD 系列。

■□■特点■□■ ■准确注入所需的最少量的化学溶液，并能精确地

控制晶圆清洗液的浓度。
非常适合控制晶圆清洗液的浓度。它可以抑制浓度超调，还有助于降低清洁溶液的成本。

■优异的耐腐蚀性
所有接液部件均采用氟树脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，与强酸、强碱、过氧化氢等化学溶液兼容。
泵的外部采用树脂和涂层螺栓。

■安全设计
以压缩空气为动力的安全气动波纹管泵。
防虹吸机构可防止化学溶液流出。
CFD-1T-B 标配泄漏传感器，可检测波纹管损坏情况。

■排放量范围广
规格可灵活设定，覆盖排放量范围广。
出厂设置为 CFD-1T-B：1mL/次，CFD-8T-B：8ml/次。

*如需了解更多信息，请下载 PDF 或随时联系我们。

基本信息易威奇化学补给泵CFD系列

【一般规格】
■型号：CFD-1T-B・CFD-8T-B
■最大吐出量：1mL/次・8mL/次
■供给气压：0.15～0.3MPa
■最大空气消耗量：2.5NL/min注・5.4 NL/min注
■最大行程数：30spm
■主要材质：PTFE、PFA、PCTFE
■液体温度范围：20～60℃
注：供给气压为0.3MPa时，行程数为30spm，排出压力为0.05MPa

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