气动波纹管泵FS-H系列IWAKI易威奇

气动波纹管泵FS-H系列IWAKI易威奇
通过高速行程实现了小型、轻量、低成本。

■高速行程
■无污染
■液体温度范围宽/排出压力高

基本信息气动波纹管泵FS-H系列

[特点]
■高速冲程
该泵具有高速冲程（最大240 spm），使其结构紧凑、重量轻、成本低，并减少了脉动。

■无污染
所有接液部件均由氟树脂制成。泵的外周也采用无暴露金属的设计，例如氟树脂涂层。此外，使用独特开发的轴封（专利）进一步减少了颗粒的产生。

■液体温度范围宽/排出压力高
液体温度范围为5～180℃，排出压力可达0.45MPa，因此不仅可用于清洗工序、CMP工序，还可用于化学供给工序。