MIYUKI 日本美幸辉 科研高真空腔体通断蝶阀 BR-C63
2026-07-29 15:53:35
admin
核心产品亮点
1. 无电镀气体接触面，超高洁净度适配精密制程
区别于普通真空阀电镀 / 喷涂内壁，BR-N50 所有接触真空气体的金属部位仅做镜面抛光，无任何镀层覆盖，彻底消除镀层脱落微粒、镀层有机挥发物污染晶圆、光学膜片，完美匹配半导体蚀刻、OLED 镀膜、光伏薄膜沉积等高洁净生产场景。
2. 超薄阀体大通导，提升腔体工艺节拍
阀体轴向厚度大幅精简，超薄结构大幅节省真空设备内部狭小管路安装空间；内部流线型无阻挡流道，同口径下通导性能行业领先，腔体抽真空、破空排气速度更快，缩短单批次工艺时长，提升设备整体产能.。
3. 双向完全密封结构，压力波动工况密封稳定
阀门全关时蝶片与密封面完整贴合，实现无间隙完全密封，可同时承受正向腔体真空负压、反向大气背压，腔体泄压、压力剧烈波动时密封性能不衰减，解决普通蝶阀反向压差漏气缺陷，高真空长时间静置保压无泄漏。
4. 全姿态自由安装，适配设备复杂交错管路
阀体结构不受安装角度、管路走向约束，真空炉多层交错管路、密闭狭小设备机柜、侧向斜向管路均可直接装配，无需额外定制转接法兰，简化真空设备管路设计、整机装配工序，降低设备改造成本。
5. 无尘车间整机装配，低粉尘低放气
零部件全部无尘超声波清洗，百级洁净室内完成组装、检测；齿轮齿条传动摩擦副少，启闭过程极少产生金属粉尘碎屑，搭配低析出不锈钢基材，持续维持腔体洁净环境，有效降低产品不良率。
