日本KISHIYAMA柏山工业株式会社 干式真空泵“SDL系列”
2023-04-20 15:23:11
admin
日本KISHIYAMA柏山工业株式会社 干式真空泵“SDL系列”
对于硬过程！用于大尺寸晶圆和 FPD 基板的大排量泵
“SDL系列”
是樫山工业的干式真空泵，在半导体和液晶制造等广泛领域赢得了高度信赖。
对应wafer和FPD的大型化。
通过组合可实现大排量，满足150,000L/min以上的需求。
此外，通过确保大气侧的排气速度，
大型负载锁定室的高速排气缩短了节拍时间。
溶剂排放规格也可提供，因此请与我们联系。
[特长]
■硬工序用
■大型晶圆、FPD对应
■节拍时间缩短
*详情请参考PDF文件或随时咨询。
基本信息干式真空泵“SDL系列”
【ラインアップ】
■SDL12E50
■SDL20E50
■SDL36M60
■SDL40E60
■SDL40E201
■SDL40EW201
■SDL80201
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
