日本柏山工业株式会社 干式真空泵“SDE-TX系列”

日本柏山工业株式会社 干式真空泵“SDE-TX系列”

适用于所有工艺的高度耐用的干式真空泵！致力于工艺性能

“SDE-TX系列”
是樫山工业的干式真空泵，在半导体和液晶制造等广泛领域赢得了高度信赖。

采用耐沉积物性能优良的立式螺杆，
根据结构材料和温度设置，表现出高耐腐蚀性。

[Hirsch 工艺示例]
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD

*详情请参阅PDF文件或随时与我们联系。

基本信息干式真空泵“SDE-TX系列”

【ラインアップ】
■SDE120TX
■SDE303TX
■SDE603TX
■SDE1203TX
■SDE20M12TX
■SDE30M12TX

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