基本规格二覆盖没有任何原点传感器选项CW右电机选项5相步进电机（高扭矩）附属电缆没有电缆更换油脂标准润滑脂（AFF标准）最大速度（水平）[毫米/秒]45分解能4μm/脉冲（整步）分辨率：一半（脉冲）2 μm/脉冲（半步）分辨率：微步1/20 格（脉冲）[μm]0.2 μm/脉冲（1/20 格）停止精度一方向位置決め精度[μm以内]7定位重复精度【±μm以内】0.5空程[μm以内]1移動精度真直度[
| 基本规格二 | 覆盖 | 没有任何 |
|---|---|---|
| 原点传感器选项 | CW右 | |
| 电机选项 | 5相步进电机 （高扭矩） | |
| 附属电缆 | 没有电缆 | |
| 更换油脂 | 标准润滑脂 （AFF标准） | |
| 最大速度（水平） [毫米/秒] | 45 | |
| 分解能 | 4μm/脉冲（整步） | |
| 分辨率：一半（脉冲） | 2 μm/脉冲（半步） | |
| 分辨率：微步 1/20 格（脉冲） [μm] | 0.2 μm/脉冲 （1/20 格） | |
| 停止精度 | 一方向位置決め精度 [μm以内] | 7 |
| 定位重复精度 【±μm以内】 | 0.5 | |
| 空程[μm以内] | 1 | |
| 移動精度 | 真直度[μm以内] | 3 |
| 俯仰[″以内] | 20 | |
| 偏航 [以内”] | 15 | |
| 运动平行度[μm以内] | 10 | |
| 剛性 | 力矩刚度：Pitch [″/N・cm] | 0.05 |
| 力矩刚度：偏航 [″/N・cm] | 0.05 | |
| 力矩刚度：roll [″/N・cm] | 0.05 | |
| 公差 | 平行度[μm以内] | 15 |
| 背隙[μm以内] | 1 | |
| 传感器 | 限位传感器 | 有 |
| 原点传感器 | 有 | |
| 狭缝原点传感器 | - | |
| 重量 | 自重[kg] | 1.63 |
| 付属品 | 内六角螺栓 | M4-14[8本] |