NanoFocus - 半导体晶圆检测设备（人工装载） 型号：µsprint hp-hsi 2000
产品概述：● 高成本效益设备。● 一次扫描涵盖所有凸块，产出真实3D数据。● 适用于SEMI标准。● 适用于所有基板类型。● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。● 适用于4”，6”，8”晶圆 。● 工业标准数据端口。
产品概述：
● 高成本效益设备。
● 一次扫描涵盖所有凸块，产出真实3D数据。
● 适用于SEMI标准。
● 适用于所有基板类型。
● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。
● 适用于4”，6”，8”晶圆 。
● 工业标准数据端口。
NanoFocus半导体晶圆检测设备（人工装载）产品参数
分辨率 | X & Y轴: 0.5-2.5um; |
|---|---|
Z轴：0.016 um; | |
取样率 | 20000 Hz |
工作距离 | 8 mm |
扫描宽度 | 630 um |
高度范围 | 300 um – 400 um |
机台尺寸 | 400mm x 400mm（可定制） |