SURUGA 骏河精机 X轴滑台应用于半导体设备 PG513-R24BG-C、PG513-R24BG-C1基本规格二传感器盖板位置错误的手传感器电源电压 [V]24V传感器逻辑全部不电机选项5相步进电机（标配）附属电缆标准电缆2m，两端带连接器更换油脂标准润滑脂最大速度（水平）[毫米/秒]10分解能2μm/脉冲（整步）分辨率：一半（脉冲）1 μm/脉冲（半步）分辨率：微步1/20 格（脉冲）[μm
SURUGA 骏河精机 X轴滑台应用于半导体设备 PG513-R24BG-C、PG513-R24BG-C1
| 基本规格二 | 传感器盖板位置 | 错误的手 |
|---|---|---|
| 传感器电源电压 [V] | 24V | |
| 传感器逻辑 | 全部不 | |
| 电机选项 | 5相步进电机 （标配） | |
| 附属电缆 | 标准电缆 2m，两端带连接器 | |
| 更换油脂 | 标准润滑脂 | |
| 最大速度（水平） [毫米/秒] | 10 | |
| 分解能 | 2μm/脉冲（整步） | |
| 分辨率：一半（脉冲） | 1 μm/脉冲（半步） | |
| 分辨率：微步 1/20 格（脉冲） [μm] | 0.1 μm/脉冲 （1/20 格） | |
| 停止精度 | 一方向位置決め精度 [μm以内] | 6 |
| 定位重复精度 【±μm以内】 | 0.5 | |
| 空程[μm以内] | 1 | |
| 移動精度 | 真直度[μm以内] | 1 |
| 俯仰[″以内] | 15 | |
| 偏航 [以内”] | 10 | |
| 运动平行度[μm以内] | 5 | |
| 剛性 | 力矩刚度：Pitch [″/N・cm] | 0.14 |
| 力矩刚度：偏航 [″/N・cm] | 0.1 | |
| 力矩刚度：roll [″/N・cm] | 0.06 | |
| 公差 | 平行度[μm以内] | 15 |
| 背隙[μm以内] | 0.5 | |
| 传感器 | 限位传感器 | 有 |
| 原点传感器 | 有 | |
| 狭缝原点传感器 | 是 （需要 4 根传感器电缆） | |
| 重量 | 自重[kg] | 0.6 |
| 付属品 | 内六角螺栓 | M3-8[4本] |