FUJI富士

分密度计（专用机） FUD-1 Model-53

分密度计（专用机） FUD-1 Model-53

产品概览在保持 FUD-1 Model-53 的优点（例如易于维护和高精度在线测量）的同时，该型号具有用于半导体制造过程的小电池型发射器。图表FUD-1 Model-53内置电导率仪多组分密度计的特点3成分中的2成分浓度计端可以实时进行配备模拟 DC4 至 20mA（2 个系统）和数字 RS232C 作为标准设备标配测量误差输出和报警输出标配自诊断功能和错误信息显示小巧轻便的电池型变送器可直接安装

在线询价
产品概览

在保持 FUD-1 Model-53 的优点（例如易于维护和高精度在线测量）的同时，该型号具有用于半导体制造过程的小电池型发射器。

图表

FUD-1 Model-53内置电导率仪
多组分密度计（专用）

多组分密度计的特点

3成分中的2成分浓度计端可以实时进行

  • 配备模拟 DC4 至 20mA（2 个系统）和数字 RS232C 作为标准设备

  • 标配测量误差输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误信息显示

  • 小巧轻便的电池型变送器可直接安装在线路上

  • 接液部分材料采用PFA，小输出设计对化学品无影响


优点

  • 可以进行高精度的连续测量

  • 免维护，无需定期调整或校准

  • 安装方便，安装时无需进行各种调整

  • 通过实时输出轻松反馈过程


用法

  • CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度管理等

  • 清洗过程中的清洗液浓度管理（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

  • 刻蚀工艺中的刻蚀液浓度管理（TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等）




规格

模型FUD-1 Model-53
 转换器
测量参数超声波传播速度/温度/电导率
展示LCD（浓度1、浓度2、温度、声速、电导率/各种参数）
输出信号模拟4～20mA DC：2个系统（浓度值可自由设定）
数字RS232C（浓度1、浓度2、声速、温度、电导率、错误代码）
报警上下限测量误差：2个系统
电源AC100V-240V 50/60Hz 30VA（也可使用24V DC）
结构面板安装型（符合 DIN 标准）
环境温度转换器0 至 50°C
RH85%以下（无结露）
功能输出量程设定功能、报警输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏置增益设定功能、自诊断功能、故障安全功能、异常值消除功能、温度时间常数校正
选项温度输出（4 至 20mA DC）
RS485 输出（不能与 RS232C 同时输出）
通道（校准曲线）最大 7ch
兼容变送器示例SA-20S29+电导仪、SA-20S27+电导仪



 模型 发射机
SA-20S29+电导率仪
SA-20S27+电导率仪
 振动元件 压电陶瓷(2MHz)x1压电陶瓷(2MHz)x2
 测量元件 热敏电阻热敏电阻
 液体温度 0 至 100°C 0 至 80°C
 结构 流通池 流通池
 接液部分材料 PFA/PFA涂层 粉煤灰
 联合的 3/4 接头（可更换） 3/4 接头（可更换）
 耐压性 0.3MPa 0.3MPa
 流速 5l/min（推荐） 5l/min（推荐）
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 电缆 专用电缆 6m专用电缆 6m
 环境温度 5 至 45°C 5 至 45°C


首页
产品
新闻
联系