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电容式非接触测厚仪

CL-5610系列

• 非接触式测厚仪产品概述

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• 产品目录 (PDF)

• 特征

• 测量方法

• 测量示例

• 外形规格

• 选项

CL-5610/5610S是一款非接触测厚仪，通过与Gap Detector VE系列传感器连接，测量导体、半导体和绝缘体的厚度。最多可连接两个 VE 系列传感器。它还可以用作 2ch 间隙测量仪。

CL-5610内置传感器放大器，VE传感器直接与测厚仪相连。适用于桌面离线测量（传感器与主机之间的线缆为1.5m，不可延长）。

CL-5610S 具有独立的传感器放大器，与 VE 传感器和测厚仪主体分开使用。主机和外部放大器之间的标准电缆长度为 2.5 m，并且可以选择延长至 10 m。这适用于传感器安装位置与测厚仪主体分开的情况，例如当它内置于设备中时。

特征

丰富的测量项目
可以测量厚度和间隙。此外，还可以分别显示偏差值、最大值、最小值和最大宽度值（最大-最小值）。

除了导体和半导体，还可以测量绝缘体的厚度。CL
-0300 绝缘体测量功能（可选）可让您测量塑料薄膜和玻璃板等绝缘体的厚度。

即使对于不完全导通的样品也可以稳定地测量厚度将样品放在涂有氟基薄膜的工作台上时，很难在样品和主体之间建立电导通（常见）。
迄今为止，必须通过大面积接触样品来确保稳定性，但 CL-0210 高阻抗接地模式功能（可选）可以减少该面积。此外，可以在相同面积内确保更高的稳定性。

高分辨率计算功能选件（CL-0200）*1
*1：使用 VE-2011/5010/5011 时，可实现 0.02 μm 的最小显示分辨率。VE-5010/5011 适用于使用 CL-0201 测量范围变更选件将测量范围设置为 20 至 200 μm 的情况。

最多可保存6个传感器校准值

CL-5610系列最多可存储6个传感器校准信息，因此您可以根据测量范围和分辨率选择和使用最合适的传感器。

数据可以连续采集到 PLC 或 PC

提供三种类型的数据输出功能：模拟电压输出、BCD 输出和RS-232C。可根据客户的录音设备选择输出方式。模拟输出和 BCD 输出可以以 20 ms 的数据更新间隔检索数据。通过边移动样品边测量，还可以测量检测片材厚度不均所需的连续厚度值。

*模拟输出需要输出功能选件（CL-0110），BCD输出需要BCD输出功能选件（CL-0120） 。

该设备可以外部控制

对于制造和检查线等的自动测量，需要从外部控制本仪器。CL-5610 标配触点控制端子和 RS-232C 端子，因此可以通过 PLC 或 PC 轻松控制。

比较器功能（安装CL-0110输出功能选件时）可用于在线异常值监测

* 除上述测量样品外，如需测量中间材料和复合材料，请与我们联系。

测量方法

外形规格

测量对象	导体、半导体、绝缘体*1 *1 需要 CL-0300 绝缘体测量功能选件。
传感器输入	2 通道（A、B）电容传感器
测量项目	被测物的厚度（导体、半导体、绝缘体<option CL-0300>） 传感器 A 和测量对象（导体、半导体）之间的间隙 (A) 传感器 B 和测量对象（导体、半导体）之间的间隙 (B) A 和 B 之间的差异(A - B)
显示模式	ABS：绝对厚度或间隙显示 Dev：显示相对于参考值的变化量 任意周期内（START期间）最大值（MAX）、最小值（MIN）、最大值-最小值（RANGE）
适用传感器和显示分辨率	结合新型VE系列电容式间隙检测器，显示分辨率如下。 传感器类型 测量范围 （μm） 分辨率（微米） 标准 安装CL-0200 高分辨率计算功能选件 时 VE-2011 20 到 200 0.1 0.02 VE-5010 50 至 500 20 至 200 *1 0.1 0.05/0.02 *1 VE-5011 VE-1020 100 到 1000 0.1 0.1 VE-1021 VE-1520 150 至 1500 0.5 0.2 VE-3020 300 至 3000 1个 0.5 VE-3021 VE-8020 800 到 8000 2个 1个 VE-8021 *1: VE-5010/5011 可以使用 CL-0201 测量范围更改选项指定 20 至 200 μm 的测量范围。在这种情况下，安装高分辨率选件时的显示分辨率为 0.02 μm。 *测量绝缘体时，以测量范围的 1/3 左右的厚度为基准。 例）使用VE-1020时，绝缘体的厚度约为350μm以下。
准确性	±0.15 %/FS（标准） ±0.12 %/FS（安装 CL-0200 高分辨率计算功能选件 <VE-8020/8021 除外>）
精度保证温度范围	23°C ± 2°C
展示	荧光显示管 测量结果显示可在1项（大写）和2项（小写）之间切换。
参数设置	测量和计算所需的各种参数通过面板上的各种按键设置在内存中。即使关闭电源，这些设置值也会被断电记忆记忆。
采样时间	20毫秒
平均	移动平均线：1至64倍
界面	RS-232C：允许远程控制仪器和获取测量数据。可以打印到 DPU-414 打印机（单独出售）
BCD输出功能 （选购件：CL-0120）	测量结果6位并行BCD输出 输出方式：集电极开路输出 输出数据：GAP-A、GAP-B、THICK、AB、DISP2 数据从显示值中选择更新时间：20ms 连接电缆：AA-8207（ 3 m，一侧开口）
遥控功能	可以进行计算功能的启动/停止和厚度校准等外部操作。 ■远程端子排针及输入信号 A。 电源 当输入 DC 5 至 24 V 或从外部电源提供 DC 6 V 或更高时，插入一个电阻器。 B. 开始 与开始键功能相同 C。 停止 停止数学模式 D. 暂停 与 PAUSE 键功能相同 E、 校准器 仅在使用注册的测量对象参考片数据进行校准 时有效・仅导体测量 ・无法更改测量对象参考片的厚度 F。 开始状态 在操作模式和操作中断模式下切换到活动状态。 G。 +5V输出 输出 +5 V（最大值：0.3 A） H。 常见的 连接 0 V *适用连接器：R03-PB8M（多治见无线制）
同步功能	多个 CL-5610/CL-5610S 单元可以并联运行（1 台主机最多 2 台）*1
电源	交流电 100V 至 240V 50/60Hz
使用环境（仅限主机）	温度：+23°C±2°C（保证精度范围），0°C 至 +40°C（工作范围） 湿度：20% 至 80% RH（无冷凝）
外形尺寸	210 (W) x 99 (H) x 275 (D) mm（CL-5610/5610S 主体，不包括突起） 56 ( W) x 42.4 (H) 122 (D) mm（CL-5610S 转换器，突起）不包括）
大量的	约 4.2 kg（CL-5610/5610S 主机） 约 0.5 kg x 2（CL-5610S 的 CL-0420 转换器）
价格	CL-5610： 662,000 日元（ 含税 728,200 日元） CL-5610S： 819,000 日元（ 含税 900,900 日元）

*1 需要在设备之间进行调整才能使用 SYNC 功能。如有需要，请另行咨询。

选项

CL-0110输出功能（模拟输出、比较器输出）

CL-0120 BCD输出功能

CL-0200 高分辨率计算功能选项

CL-0210 高阻接地模式功能

CL-0300 绝缘子测量软件选项

CL-015 晶圆滑台（定做）

VE系列电容式间隙检测器

标准型

φ10mm普通夹形型

类型名称	VE-2011	VE-5011	VE-1021	VE-3021	VE-8021
测量范围（μm）*1	20 到 200	50 到 500	100 到 1000	300 至 3000	800 到 8000
外型（毫米）*2	φ3	φ6	φ8	φ20	φ40
电缆长度	单独出售 VL-1520/1521 电缆 (1.5m)
温度系数	k1 = 1.7 x 10-5 , k2 = 3.4 x 10-5
工作温度范围*3	0 至 +80°C
价格	¥ 126,000 ( ¥ 138,600 含税)	¥ 149,000 ( ¥ 163,900 含税)	¥ 84,000 ( ¥ 92,400 含税)	- 销售结束 - （含税 - 销售结束 - ）	¥ 137,000 ( ¥ 150,700 含税)

*1 测量范围表示从传感器边缘到待测物体的最大间隙。
*2 被测物体的测量面的面积必须大于传感器的外径。
*3 工作温度范围是传感器可以工作的温度范围，不是保证线性的温度范围。
为确保线性，请在 +23°C±2°C 的温度下使用。VE系列的温度特性请参考以下内容。

最后更新：22021/01/11