YUTAKA宇高工程 一体型压力调节器 L12H
YUTAKA宇高工程 一体型压力调节器 L12HYUTAKA宇高工程 一体型压力调节器 L12H产品特点L12系列是一款按照1.25英寸SEMI标准设计的压力调节器。 与集成供气系统的 1.125 英寸、1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 产品阵容包括高流量和真空规格以及面密封接头类型。 规格入口压力最大0.99MPa调节压力（L12/L12H）Max.0.7MPa（范围规格0～0.2M
YUTAKA宇高工程 一体型压力调节器 L12H
YUTAKA宇高工程 一体型压力调节器 L12H
产品特点
L12系列是一款按照1.25英寸SEMI标准设计的压力调节器。
与集成供气系统的 1.125 英寸、1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。
产品阵容包括高流量和真空规格以及面密封接头类型。
规格
| 入口压力 | 最大0.99MPa |
| 调节压力（L12/L12H） | Max.0.7MPa （范围规格0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.7MPa） |
| 调节压力（L12V） | 范围规格 -0.08～0.1MPa、-0.08～0.2MPa |
| 承受压力 | 1.5MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.1 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/sec·He（真空法） |
| 重量 | 约270g（1.125” SEMI规格） |