L21SH 高压标准流量型压力调节器 玉崎供应YUTAKA
L21SH 高压标准流量型压力调节器 玉崎供应YUTAKAL21SH 高压标准流量型压力调节器 玉崎供应YUTAKA产品特点L21系列是针对高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，基本性能较L20系列有所提高。该产品具有优异的外漏和颗粒性能，是气瓶柜的理想选择。规格入口压力14.8MPa以下（最大24MPa）调节压力最大0.99MPa（范围规格：0～0.2MPa
- 型号： L21SH
L21SH 高压标准流量型压力调节器 玉崎供应YUTAKA
L21SH 高压标准流量型压力调节器 玉崎供应YUTAKA
产品特点
L21系列是针对高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，基本性能较L20系列有所提高。该产品具有优异的外漏和颗粒性能，是气瓶柜的理想选择。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大24MPa） |
| 调节压力 | 最大0.99MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.0005MPa以下 |
| 承受压力 | 31.5MPa（入口侧）、1.5MPa（调节侧） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa･m3/s･He（真空法） |
| 内部容积 | 4.75cm（3个压力表，不含接头） 4.75cm（3个压力表，不含接头） |
| 重量 | 约1.4公斤 |
| 安装方法 | 后部螺丝安装 |