大流量型压力调节器 L61SS 日本YUTAKA
大流量型压力调节器 L61SS 日本YUTAKA大流量型压力调节器 L61SS 日本YUTAKA产品特点L61系列专为高压、大流量的半导体工艺制造气体而设计，控制阀采用平密封结构，保证小行程、大流量。 规格入口压力14.8MPa以下（最大19.6MPa）调节压力最大0.8MPa（范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa）气源压力波动入口压力：调节压力每0.1
- 型号： L61SS
大流量型压力调节器 L61SS 日本YUTAKA
大流量型压力调节器 L61SS 日本YUTAKA
产品特点
L61系列专为高压、大流量的半导体工艺制造气体而设计，控制阀采用平密封结构，保证小行程、大流量。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 调节压力 | 最大0.8MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.0006MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.07 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa･m3/s･He（真空法） |
| 内部容积 | 32.3cm（不含3个压力表及配件） |
| 重量 | 约4.7公斤 |
| 安装方法 | 使用前面板安装螺母或后螺钉安装 |