日本 LINTEC琳得科 紫外线照射装置 RAD-2010F/12

日本 LINTEC琳得科 紫外线照射装置 RAD-2010F/12

1. 紧凑且高吞吐量

用于 300 毫米和 200 毫米晶圆的机器，配有集成装载机和卸载机。一体型使机器尺寸变得紧凑，并通过两条工作路径实现高生产量。

2. 高品质、高性能

这是由UV固化切割胶带领先公司开发的高性能机器。使用高输出紫外线灯优化照度和光强度、检查每个晶圆加工的光强度以及在防止氧抑制的环境中进行紫外线照射等功能*，使胶带能够充分发挥其潜力。

*为了消除抑制UV固化的氧气，晶片室充满氮气并照射UV。

3. 操作舒适、安全

采用大触摸屏，方便使用。根据 SEMI 安全准则，从设计和组装阶段就提高了机器操作和维护的安全性。

兼容CE标志

四。装配过程自动化

通过主机通信功能和在线系统的结合，实现了全过程的FA（工厂自动化）。