L62SS-CO 高压高流量压力调节器 YUTAKA宇高工程
L62SS-CO 高压高流量压力调节器 YUTAKA宇高工程L62SS-CO 高压高流量压力调节器 YUTAKA宇高工程产品特点L62系列专为高压、高流量半导体工艺制造气体而设计，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，具有优异的外部泄漏和颗粒性能。该产品增加了流量，是气瓶柜的理想选择。我们的L61系列的针结构类型（面对面尺寸相同）。阀座材料可根据使用气体选择。 规格适用气体高纯气体入口压力14.8
- 型号： L62SS-CO
L62SS-CO 高压高流量压力调节器 YUTAKA宇高工程
L62SS-CO 高压高流量压力调节器 YUTAKA宇高工程
产品特点
L62系列专为高压、高流量半导体工艺制造气体而设计，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，具有优异的外部泄漏和颗粒性能。该产品增加了流量，是气瓶柜的理想选择。
我们的L61系列的针结构类型（面对面尺寸相同）。
阀座材料可根据使用气体选择。
规格
| 适用气体 | 高纯气体 |
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 调节压力 | 最大0.8MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：0.001MPa以下每0.1MPa调节压力变化 |
| 承受压力 | 22.2MPa（进口压力） |
| Cv值 | 0.11 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 内部容积 | 32.3cm（不含3个压力表及配件） |
| 重量 | 约4.7公斤 |
| 安装方法 | 使用前面板安装螺母或后螺钉安装 |