YUTAKA宇高工程 压力调节器两级减压结构 L88SS
YUTAKA宇高工程 压力调节器两级减压结构 L88SSYUTAKA宇高工程 压力调节器两级减压结构 L88SS产品特点L88系列是针对半导体生产气体B2H6设计的产品，采用两级减压结构。作为抑制B2H6减压生成产物的措施，中间压力为3MPa，调节阀结构为平密封型，采用PCTF调节阀座来抑制缺陷。它也非常适合绝热膨胀变化较大的 NF3。 规格入口压力14.8MPa以下调节压力最大0.99MPa（范
- 型号： L88SS
YUTAKA宇高工程 压力调节器两级减压结构 L88SS
YUTAKA宇高工程 压力调节器两级减压结构 L88SS
产品特点
L88系列是针对半导体生产气体B2H6设计的产品，采用两级减压结构。作为抑制B2H6减压生成产物的措施，中间压力为3MPa，调节阀结构为平密封型，采用PCTF调节阀座来抑制缺陷。它也非常适合绝热膨胀变化较大的 NF3。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下 |
| 调节压力 | 最大0.99MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.00075MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.08 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa･m3/s･He（真空法） |
| 内部容积 | 12.58cm（不含3个压力表及配件） |
| 重量 | 约2.4公斤 |
| 安装方法 | 使用螺母安装，可在正面和背面进行面板安装 |