YUTAKA宇高工程 加压调整器中低压标准流量型 L26SS-CO
YUTAKA宇高工程 加压调整器中低压标准流量型 L26SS-COYUTAKA宇高工程 加压调整器中低压标准流量型 L26SS-CO产品特点L26系列是针对低中压半导体工艺制造气体而设计的，是比L25产品基本性能有所提高的过渡产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格。该产品具有优异的外泄漏和颗粒性能，是设备供应中阀箱和连接装置的理想选择。规格入口压力6MPa以下调节压力最大0.99MPa（范围规
- 型号： L26SS-CO
YUTAKA宇高工程 加压调整器中低压标准流量型 L26SS-CO
YUTAKA宇高工程 加压调整器中低压标准流量型 L26SS-CO
产品特点
L26系列是针对低中压半导体工艺制造气体而设计的，是比L25产品基本性能有所提高的过渡产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格。该产品具有优异的外泄漏和颗粒性能，是设备供应中阀箱和连接装置的理想选择。
规格
| 入口压力 | 6MPa以下 |
| 调节压力 | 最大0.99MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.001MPa |
| 承受压力 | 一次侧22.2MPa |
| Cv值 | 0.21 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 内部容积 | 4.75cm（不含3个压力表及配件） |
| 重量 | 1公斤 |
| 安装方法 | 后部螺丝安装 |