YUTAKA宇高工程 加压调整器中低压标准流量型 L35SS-CO
玉崎供应YUTAKA 中低压标准流量型加压调整器 L35SS-CO玉崎供应YUTAKA 中低压标准流量型加压调整器 L35SS-CO产品特点L35系列专为低压和中压半导体工艺制造气体而设计，其基本结构为外部金属密封和焊接接头，具有优异的外部泄漏和颗粒性能。由于流量范围有所增加，因此它非常适合为具有 3/8 尺寸管道的设备供电的阀箱和连接装置。 规格入口压力6MPa以下调节压力最大0.9MPa（范围
- 型号： L35SS-CO
玉崎供应YUTAKA 中低压标准流量型加压调整器 L35SS-CO
玉崎供应YUTAKA 中低压标准流量型加压调整器 L35SS-CO
产品特点
L35系列专为低压和中压半导体工艺制造气体而设计，其基本结构为外部金属密封和焊接接头，具有优异的外部泄漏和颗粒性能。由于流量范围有所增加，因此它非常适合为具有 3/8 尺寸管道的设备供电的阀箱和连接装置。
规格
| 入口压力 | 6MPa以下 |
| 调节压力 | 最大0.9MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.9MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.0007MPa |
| 承受压力 | 9 MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.21 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa･m3/s･He（真空法） |
| 内部容积 | 11.3cm（不含3个压力表及配件） |
| 重量 | 约1.9公斤 |
| 安装方法 | 使用前面板安装螺母或后螺钉安装 |