低压大流量加压调整器紧凑型 L36SH YUTAKA宇高工程
低压大流量加压调整器紧凑型 L36SH YUTAKA宇高工程低压大流量加压调整器紧凑型 L36SH YUTAKA宇高工程产品特点L36系列专为低压型半导体工艺制造气体而设计，结构紧凑，但设计可提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和颗粒性能，使其成为阀箱和连接装置的理想选择。 规格入口压力2MPa以下调节压力最大0.99MPa（范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.9
- 型号： L36SH
低压大流量加压调整器紧凑型 L36SH YUTAKA宇高工程
低压大流量加压调整器紧凑型 L36SH YUTAKA宇高工程
产品特点
L36系列专为低压型半导体工艺制造气体而设计，结构紧凑，但设计可提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和颗粒性能，使其成为阀箱和连接装置的理想选择。
规格
| 入口压力 | 2MPa以下 |
| 调节压力 | 最大0.99MPa（范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1 MPa变化0.0075 MPa |
| 承受压力 | 6MPa（入口侧） |
| Cv值 | 1.1 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/sec·He（真空法） |
| 重量 | 约2公斤 |
| 安装方法 | 使用后部螺钉安装（前部安装选项） |