进口大亚真空DIAVAC油扩散泵 油扩散泵DPA系列 DPA-22
油扩散泵 油扩散泵DPA系列 DPA-22 / 油扩散泵 油扩散泵DPA系列 DPA-22特点■节能型泵（内热式加热器）的功耗比以往减少了4成（DPF系列）■质量与以往相比为1/2，实现轻量紧凑化■采用可更换的内热式加热器■启动时间比以往产品（DPF系列）缩短1/2用途■大型蒸镀装置、溅射装置等■真空热处理炉、真空溶解炉、真空钎焊炉等■各种真空排气装置规格型号DPA-18极限压力 （P
进口大亚真空DIAVAC 油扩散泵 油扩散泵DPA系列 DPA-22
进口大亚真空DIAVAC 油扩散泵 油扩散泵DPA系列 DPA-22
特点
■节能型泵（内热式加热器）的功耗比以往减少了4成（DPF系列）
■质量与以往相比为1/2，实现轻量紧凑化
■采用可更换的内热式加热器
■启动时间比以往产品（DPF系列）缩短1/2
用途
■大型蒸镀装置、溅射装置等
■真空热处理炉、真空溶解炉、真空钎焊炉等
■各种真空排气装置
规格
| 型号 | DPA-18 |
|---|---|
| 极限压力 （Pa） | < 3.0×10-5 |
| 标称抽速（L/sec）， 无挡板 | 9000 |
| 有效排气速（L/sec）， 无挡板 *注1 | 8000 |
| 有效排气速度（L/sec） 百叶窗挡板 *注1 | 4600 |
油逆流量（mg/cm2·min） 吸入压10-5～10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
| 无负荷临界背压（Pa）*注2 | 59 |
| 功率要求（kw） 3φ 200V | 3.5 |
| 上升时间（min） | 30 |
| 用水需求（L/min） | 5 |
| 质量（kg），包括挡板 | 110 |
| 离地板的总高度（mm）， 包括挡板 | 840 |
| 标准液压油（L） | 2.2 |
| 进气口法兰 | VG 450 |
| 排气口法兰 | VG 100 |
| 型号 | DPA-22 |
|---|---|
| 极限压力 （Pa） | < 3.0×10-5 |
| 标称抽速（L/sec）， 无挡板 | 13000 |
| 有效排气速（L/sec）， 无挡板 *注1 | 12800 |
| 有效排气速度（L/sec） 百叶窗挡板 *注1 | 6900 |
油逆流量（mg/cm2·min） 吸入压10-5～10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
| 无负荷临界背压（Pa）*注2 | 65 |
| 功率要求（kw） 3φ 200V | 5.4 |
| 上升时间（min） | 30 |
| 用水需求（L/min） | 7 |
| 质量（kg），包括挡板 | 167 |
| 离地板的总高度（mm）， 包括挡板 | 960 |
| 标准液压油（L） | 3.0 |
| 进气口法兰 | VG 550 |
| 排气口法兰 | VG 150 |
| 型号 | DPA-24R |
|---|---|
| 极限压力 （Pa） | < 2.0×10-5 |
| 标称抽速（L/sec）， 无挡板 | 16000※注3 |
| 有效排气速（L/sec）， 无挡板 *注1 | 13200 |
| 有效排气速度（L/sec） 百叶窗挡板 *注1 | 7900 |
油逆流量（mg/cm2·min） 吸入压10-5～10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
| 无负荷临界背压（Pa）*注2 | 65 |
| 功率要求（kw） 3φ 200V | 6.6 |
| 上升时间（min） | 30 |
| 用水需求（L/min） | 10 |
| 质量（kg），包括挡板 | 210 |
| 离地板的总高度（mm）， 包括挡板 | 1050 |
| 标准液压油（L） | 3.5 |
| 进气口法兰 | VG 600 |
| 排气口法兰 | VG 150 |
| 型号 | DPA-28R |
|---|---|
| 极限压力 （Pa） | < 2.0×10-5 |
| 标称抽速（L/sec）， 无挡板 | 20000※注3 |
| 有效排气速（L/sec）， 无挡板 *注1 | 17700※注3 |
| 有效排气速度（L/sec） 百叶窗挡板 *注1 | 9800 |
油逆流量（mg/cm2·min） 吸入压10-5～10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5~×10-4 |
| 无负荷临界背压（Pa）*注2 | 67 |
| 功率要求（kw） 3φ 200V | 8.0 |
| 上升时间（min） | 30 |
| 用水需求（L/min） | 上回路 3 或更多 下回路 9 或更多 |
| 质量（kg），包括挡板 | 250 |
| 离地板的总高度（mm）， 包括挡板 | 1170 |
| 标准液压油（L） | 4.5 |
| 进气口法兰 | VG 700 |
| 排气口法兰 | VG 200 |
| 型号 | DPA-36R |
|---|---|
| 极限压力 （Pa） | < 2.0×10-5 |
| 标称抽速（L/sec）， 无挡板 | 37000※注3 |
| 有效排气速（L/sec）， 无挡板 *注1 | 28200 *注3 |
| 有效排气速度（L/sec） 百叶窗挡板 *注1 | 17000 *注3 |
油逆流量（mg/cm2·min） 吸入压10-5～10-2Pa 百叶窗挡板 | ×10-5～×10-4 |
| 无负荷临界背压（Pa）*注2 | 61 |
| 功率要求（kw） 3φ 200V | 12.0 |
| 上升时间（min） | 40 |
| 用水需求（L/min） | 上回路5以上 下回路13以上 |
| 质量（kg），包括挡板 | 440 |
| 离地板的总高度（mm）， 包括挡板 | 1520 |
| 标准液压油（L） | 8.0 |
| 进气口法兰 | VG 900 |
| 排气口法兰 | VG 200 |