多功能激光平面瞬时加热装置EXL-CT-010-DS55

多功能激光平面瞬时加热装置EXL-CT-010-DS55特征快速加热和冷却成为可能一次性均匀加热 2 英寸基板可仅对被加热物进行直接加热可以控制适合工艺的温度无需加热大气即可实现节能应用实例MBE 设备的基材加热晶圆退火（SiC、GaAs等）可进行多层结构器件的表层退火（适用于小型化器件）