日本KOFLOC科赋乐 金属密封质量流量计MODEL 5410 SERIES
日本KOFLOC科赋乐 金属密封质量流量计MODEL 5410 SERIES5410型是一种质量流量计,具有进一步改进的基本性能。虽然外观是传统产品,但传感器驱动方法已得到改进,以减少零漂移。它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品,并增加了切口接头。提高每个流量范围的精度适用于微流量(选项规格)由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低价格便宜流量范围(N2转换20°C / 1 ATM)1
日本KOFLOC科赋乐 金属密封质量流量计MODEL 5410 SERIES5410型是一种质量流量计,具有进一步改进的基本性能。虽然外观是传统产品,但传感器驱动方法已得到改进,以减少零漂移。它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品,并增加了切口接头。提高每个流量范围的精度适用于微流量(选项规格)由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低价格便宜流量范围(N2转换20°C / 1 ATM)1
日本KOFLOC科赋乐 金属密封质量流量计MODEL 5410 SERIES
5410型是一种质量流量计,
具有进一步改进的基本性能。
虽然外观是传统产品,但传感器驱动方法已得到改进,以减少零漂移。
它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品,并增加了切口接头。
提高每个流量范围的精度
适用于微流量(选项规格)
由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
价格便宜
流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) | 1SCCM~20SLM(任意条件选择) | |
---|---|---|
传感器方式 | 热绕组传感器 | |
准确性 | ±1%F.S.(20°C) | |
温度系数 | 0.1%F.S./°C(15~35°C) | |
再现性 | ±0.2%F.S.(20°C)内 | |
可工作压力 | 300kPa(G)以下 | |
耐压 | 980kPa(G) | |
He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
允许周围温度 | 0~50℃(精度保证温度15.35°C±0.1%FS /°C) | |
允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) | |
气体接触材料 | 车身SUS316L | |
隔膜Ni.Co | ||
阀座PTFE | ||
密封材料SUS316L,Ni | ||
电气连接 | Dsub 9针KFC 标准(符合SEMI标准) | |
流量设定 输入信号 | 0~5 VDC(最小负载电阻250kΩ以上) | |
所需电源 | +15 VDC(±5%)100 mA, -15 VDC(±5%)100 mA | |
配件(车身尺寸) | 标准1/4 VCR等效 | |
重量 | 约800g |