玉崎供应CANON-ANELVA佳能真空离子泵控制器P-511 NP
玉崎供应CANON-ANELVA佳能真空离子泵控制器P-511 NP、玉崎供应CANON-ANELVA佳能真空离子泵P-521 IPCANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置P-500、CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置P-511 IP是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距
玉崎供应CANON-ANELVA佳能真空离子泵控制器P-511 NP、玉崎供应CANON-ANELVA佳能真空离子泵P-521 IP
CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置P-500、CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置 P-511 IP
是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。
显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距离可视性。
在考虑与以前型号的兼容性的同时，我们实现了改进的功能以及 CE 和 RoHS 合规性。
除了丰富的I/O功能外，还可以通过添加选件板来支持RS232C通信，非常适合自动化设备和远程控制设备。
离子泵和惰性泵有两种类型：超高真空型和高输出型，可操作压力范围和启动压力根据所连接的泵而变化。
实现了高压 兼容 高兼容性 通讯兼容 符合标准 目的： 电子显微镜、电子束光刻设备 离子束设备、掩模修复设备 存储环、光束线等加速器相关系统 MBE、表面分析设备等超高真空设备、各种分析设备等成
特征
电源所需的高水平基本功能，例如提高了监测高性能电流和电压值时的最小可显示值、增加了压力显示以及各种保护功能兼容硬制程
各种I/O标准设备的外部控制，包括两个标准设定点、断电自动恢复（可选）
确保远程连接器、输入电缆和输出电缆与之前型号的兼容性
RS232C（可选（工厂内置兼容））
CE 标志，符合 RoHS 指令离子泵控制装置
型号名称 P-511 IP P-521 IP 姓名 离子泵控制装置 兼容泵 所有离子泵 最大输出电压 DC+5.2 KV ±10%/DC+7.5 KV ±10%/DC+3.5 KV ±10%
可在程序模式下切换最大输出电流 43毫安或以上 170mA以上 输入电压 AC90至250 V 50/60 Hz单相（多电压输入） 能量消耗 最大约500VA 外形尺寸 W209 x H99 x D370 mm（1/2 机架尺寸） 大量的 约 6 Kg（未安装可选板） 工作温度/湿度 0～40℃/85%RH以下（无结露） 使用环境 室内使用/海拔2000m以下/污染等级：2级/安装类别：II 显示范围 输出电压 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） 输出电流 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) 压力 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa
（显示范围根据所连接的泵而变化）
1 L/s和8 L/s无显示功能保护功能 配备各种保护功能。当保护功能启动时，显示屏上会显示错误和编号。 压力接触 1μA～99mA范围内可设定2点 远程模式 可使用前面板上的 REMOTE 开关切换 REMOTE/LOCAL。 一致 CE 标志、RoHS 贵族泵控制装置
型号名称 P-511 NP P-521 NP 姓名 贵族泵控制装置 兼容泵 所有 Noble 泵、Excel 泵、组合泵 最大输出电压 DC-5.2 KV ±10%/DC-7.0 KV ±10%
可在程序模式下切换最大输出电流 43毫安或以上 170mA以上 输入电压 AC90至250 V 50/60 Hz单相（多电压输入） 能量消耗 最大约 500 VA 外形尺寸 W209 x H99 x D370 mm（1/2 机架尺寸） 大量的 约6Kg（未安装可选板） 工作温度/湿度 0～40℃/85%RH以下（无结露） 使用环境 室内使用/海拔2000米以下/污染等级：2/安装类别：II 显示范围 输出电压 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） 输出电流 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) 压力 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa
（显示范围根据所连接的泵而变化）保护功能 配备各种保护功能。当保护功能启动时，显示屏上会显示错误和编号。 压力接触 1μA～99mA范围内可设定2点 远程模式 可使用前面板上的 REMOTE 开关切换 REMOTE/LOCAL。 一致 CE 标志、RoHS