CANON-ANELVA佳能真空计

CANON-ANELVA佳能轻工艺用罗茨型干泵MU系列MU100N

CANON-ANELVA佳能轻工艺用罗茨型干泵MU系列MU100N世界上尺寸最小、节能水平最低的轻工艺罗茨干泵。成分光加工用溅射负载锁特征紧凑、轻便、高性能的泵,占地面积为 230 mm x 450 mm (0.1 m 2 ),泵送能力为 1660 L/min。节能- MU100N 极限压力下的功耗:0.7 kW(与传统型号相比,Δ46%)- 冷却水流量:2 L/min(与传统型号相比,Δ43%

 CANON-ANELVA佳能轻工艺用罗茨型干泵MU系列MU100N


世界上尺寸最小、节能水平最低的轻工艺罗茨干泵。

成分

  • 光加工用

  • 溅射

  • 负载锁

特征

  1. 紧凑、轻便、高性能的泵,占地面积
    为 230 mm x 450 mm (0.1 m 2 ),泵送能力为 1660 L/min。

  2. 节能
    - MU100N 极限压力下的功耗:0.7 kW(与传统型号相比,Δ46%)
    - 冷却水流量:2 L/min(与传统型号相比,Δ43%)
    - 减少氮气吹扫消耗 对于清洁应用,可使用氮气不需要吹扫(Ar(排气需要氮气吹扫)

  3. 型号MU100NMU300
    最大抽速(L/min)1,6605,000
    极限压力注1) (Pa)1.50.5
    最大入口压力气压
    最大出口压力气压
    进气法兰西北50
    排气法兰西北25
    冷却水最大供给压力(MPa)0.5(表压)IN-OUT压差:0.2以上
    流量(升/分钟)2-3(温度:10-25℃)
    连接直径Rc1/4(带自密封耦合器)Rc3/8(带自密封耦合器)
    供给压力(MPa)0.1至0.7(表压)
    流量注2) (L/min)0 或 50-10
    连接直径1/4" 管件
    电源电压三相AC200~220V 50/60Hz
    电源容量(kVA)4.07.0
    消耗功率注3) (kW)0.70.9
    使用环境温度范围(℃)5~30℃
    质量(公斤)60100
    外形尺寸长×宽×高(毫米)450×230×275450×230×550
  4. 注1) 显示的是未经氮气吹扫的值。
    注3) 氮气流量取决于应用。
    注4) 表示极限压力时的值。


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