CANON-ANELVA佳能轻工艺用罗茨型干泵MU系列MU100N
CANON-ANELVA佳能轻工艺用罗茨型干泵MU系列MU100N世界上尺寸最小、节能水平最低的轻工艺罗茨干泵。成分光加工用溅射负载锁特征紧凑、轻便、高性能的泵，占地面积为 230 mm x 450 mm (0.1 m 2 )，泵送能力为 1660 L/min。节能- MU100N 极限压力下的功耗：0.7 kW（与传统型号相比，Δ46%）- 冷却水流量：2 L/min（与传统型号相比，Δ43%
CANON-ANELVA佳能轻工艺用罗茨型干泵MU系列MU100N
世界上尺寸最小、节能水平最低的轻工艺罗茨干泵。
成分
光加工用
溅射
负载锁
特征
紧凑、轻便、高性能的泵，占地面积
为 230 mm x 450 mm (0.1 m 2 )，泵送能力为 1660 L/min。节能
- MU100N 极限压力下的功耗：0.7 kW（与传统型号相比，Δ46%）
- 冷却水流量：2 L/min（与传统型号相比，Δ43%）
- 减少氮气吹扫消耗 对于清洁应用，可使用氮气不需要吹扫（Ar（排气需要氮气吹扫）型号 MU100N MU300 最大抽速(L/min) 1,660 5,000 极限压力注1) (Pa) 1.5 0.5 最大入口压力 气压 最大出口压力 气压 进气法兰 西北50 排气法兰 西北25 冷却水 最大供给压力(MPa) 0.5（表压）IN-OUT压差：0.2以上 流量（升/分钟） 2-3（温度：10-25℃） 连接直径 Rc1/4（带自密封耦合器） Rc3/8（带自密封耦合器） 氮 供给压力（MPa） 0.1至0.7（表压） 流量注2) (L/min) 0 或 5 0-10 连接直径 1/4" 管件 电源电压 三相AC200~220V 50/60Hz 电源容量（kVA） 4.0 7.0 消耗功率注3) (kW) 0.7 0.9 使用环境温度范围（℃） 5～30℃ 质量（公斤） 60 100 外形尺寸长×宽×高（毫米） 450×230×275 450×230×550 注1) 显示的是未经氮气吹扫的值。
注3) 氮气流量取决于应用。
注4) 表示极限压力时的值。