日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵
日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵、日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵组合泵将钛升华泵和三极离子泵（贵族泵）组合在一起，利用离子泵轻松产生清洁超高真空的能力，并实现高抽速，价格便宜。成分特征目的气相沉积设备、电子显微镜、质谱仪、真空炉、各种分析设备、实验设备、排气设备以及其他释放大量气体的超高真空系统。规格特征抽速大每抽速1L/s的价格（包括控制装置
- 型号： 800 L/s 组合泵
日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵、日本原装CANON-ANELVA佳能400 L/s 组合泵
组合泵将钛升华泵和三极离子泵（贵族泵）组合在一起，利用离子泵轻松产生清洁超高真空的能力，并实现高抽速，价格便宜。
成分
特征
目的
气相沉积设备、电子显微镜、质谱仪、真空炉、各种分析设备、实验设备、排气设备以及其他释放大量气体的超高真空系统。
规格
特征
抽速大
每抽速1L/s的价格（包括控制装置的价格）约为离子泵的1/2至1/3。
与相同抽速的离子泵相比，轻便紧凑，体积和重量仅为1/5至1/10。因此，它可以很容易地安装和从排气系统中拆卸，并且可以在很小的空间内实现高排气速度。400 L/s 组合泵
排气速度/排气流量 参考图1 工作压力范围 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤温度 最高250℃ 大量的 约15公斤 进气法兰 φ152ICF法兰 内容积 4.5升 适用控制装置 922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
800 L/s 组合泵
排气速度/排气流量 见图2 工作压力范围 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤温度 最高250℃ 大量的 约25公斤 进气法兰 φ203ICF法兰 内容积 约7.5升 适用控制装置 922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
1600 L/s 组合泵
排气速度/排气流量 见图3 工作压力范围 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤温度 最高250℃ 大量的 约35公斤 进气法兰 进口法兰 φ253ICF法兰 内容积 约15.5升 适用控制装置 922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
