ASAHI-RIKA旭理化 大型置换炉ARF-150型节省空间且功能齐全
ASAHI-RIKA旭理化 大型置换炉ARF-150型节省空间且功能齐全格式ARF-150型样本量3英寸晶圆可能熔炉数量[内径φ93×1]使用范围温度室温+100℃～1100℃最高温度最高1200℃加热时间从室温到1100℃约60分钟加热器3 区型，Kanthal 线石英燃烧管[内径φ93×1200L]气体类型氧气、氮气、氢气、氩气
ASAHI-RIKA旭理化 大型置换炉ARF-150型节省空间且功能齐全
| 格式 | ARF-150型 |
| 样本量 | 3英寸晶圆可能 |
| 熔炉数量 | [内径φ93×1] |
| 使用范围温度 | 室温+100℃～1100℃ |
| 最高温度 | 最高1200℃ |
| 加热时间 | 从室温到1100℃约60分钟 |
| 加热器 | 3 区型，Kanthal 线 |
| 石英燃烧管 | [内径φ93×1200L] |
| 气体类型 | 氧气、氮气、氢气、氩气 |