EST-L6HKP-200M减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工

EST-L6HKP-200L减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工 EST-L6HKP-200M减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工性能/特点它几乎不消耗空气。它还可以与小型压缩机一起使用。使用高推力直线电机作为执行器。LH型具有优异的隔振性能，现在可用于减振目的。配备MFF（运动前馈控制）。通过预先输入平台运动信息，可以提高减振性能。主要用途・半导体制造设备・半导体检查设备

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EST-L6HKP-200L减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工

性能/特点

它几乎不消耗空气。

它还可以与小型压缩机一起使用。

使用高推力直线电机作为执行器。

LH型具有优异的隔振性能，现在可用于减振目的。

配备MFF（运动前馈控制）。

通过预先输入平台运动信息，可以提高减振性能。

主要用途