EST-L6HKP-200H隔振台KURAKA仓敷化工 支持半导体制造设备
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EST-L6HKP-200L减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工
EST-L6HKP-200M减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工
EST-L6HKP-200H隔振台KURAKA仓敷化工 支持半导体制造设备
性能/特点
它几乎不消耗空气。
它还可以与小型压缩机一起使用。
使用高推力直线电机作为执行器。
LH型具有优异的隔振性能，现在可用于减振目的。
配备MFF（运动前馈控制）。
通过预先输入平台运动信息，可以提高减振性能。
主要用途
・半导体制造设备
・半导体检查设备