TORAY氧气分析仪MS-500，用于半导体/液晶/电子元件 东丽
TORAY氧气分析仪MS-500，用于半导体/液晶/电子元件 东丽氧气浓度计MS-500MS-500最多可同时测量 8 个点可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。直插式传感器（真空NW法兰16/25/40）高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性MS-500设备规格测量原理氧化锆浓差电池类型形状分体式（传感器：壁挂式、传感器：直插式）显示方式数字4
- 型号：
TORAY氧气分析仪MS-500，用于半导体/液晶/电子元件 东丽
氧气浓度计MS-500
MS-500
最多可同时测量 8 个点
可显示从 ppm 级到 100% 的多种浓度。
适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。
直插式传感器（真空NW法兰16/25/40）
高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性
MS-500设备规格
| 测量原理 | 氧化锆浓差电池类型 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 分体式（传感器：壁挂式、传感器：直插式） | ||
| 显示方式 | 数字4位显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20 ~10 -0 atm 自动量程 | ||
| 重复性 | ±0.5%FS 0-1% 量程或更高 ，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以较大者为准） 小于 0-1% 量程 0-1ppm，atm 范围超出保证浓度范围 | ||
| 测量点数 | 1-8 | ||
| 样气条件 | 压力 | 10 -3 ~200KPa（绝压） | |
| 流量 | 0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然扩散状态的测量） | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0～100℃ | ||
| 其他的 | 不含腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、可燃性成分（包括瓦斯）、油类、水分。 | ||
| 比较气体 | 气氛 | ||
| 录音机输出 | 仅传输输出 | ||
| 变速输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 没有任何 | ||
| 热身时间 | 6分钟内 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（宽）×44（高）×120（深）（不含突出部分） | |
| MS-510（转换器） | 100（宽）×40（高）×88（深）（不含突出部分） | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 总长100mm（传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 总长100mm（传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 总长100mm（传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49） | ||