NSK日商精密光学玉崎 AF/微米深度高度测量机-京都玉崎

NSK日商精密光学玉崎 AF/微米深度高度测量机

NSK日商精密光学玉崎 AF/微米深度高度测量机特征1.这是一种新型深度和高度测量装置，结合了使用光切割的狭缝图像观察和使用聚光图像的AF（自动对焦）跟踪。2.连续跟踪自动对焦驱动可实现快速、易于使用的测量，并具有高重复性。3.由于该方法是在观察狭缝图像投影的台阶形状的同时进行测量，因此可以实时识别测量屏幕上的高度，从而轻松确定需要测量的区域。4.这是一种狭缝图像、点光图像和电子线参考线的中心在

NSK日商精密光学玉崎 AF/微米深度高度测量机

特征

	1.这是一种新型深度和高度测量装置，结合了使用光切割的狭缝图像观察和使用聚光图像的AF（自动对焦）跟踪。
	2.连续跟踪自动对焦驱动可实现快速、易于使用的测量，并具有高重复性。
	3.由于该方法是在观察狭缝图像投影的台阶形状的同时进行测量，因此可以实时识别测量屏幕上的高度，从而轻松确定需要测量的区域。
	4.这是一种狭缝图像、点光图像和电子线参考线的中心在测量点处都重合的测量系统，通过检查错位，可以防止测量值错误。
	5.光切割仰角可根据应用场合从标准90°至30°、60°、120°中选择。

主要规格

■	观察方法
	光学切割法（利用狭缝光学系统测量深度和高度）
■	物镜
	固定放大倍率：10倍（也可提供5倍和20倍）
■	Z轴驱动方式
	使用聚光灯的 AF 连续跟踪方法（可离线手动测量）
■	投影狭缝
	10μm半反射镜型
■	Z轴测量
	Z轴数字线性规0.1μm读数
■	重复性
	±1μm以内
■	使用的光源
	半导体激光器（2级）、卤素光源

NSK日商精密光学

NSK日商精密光学 玉崎 AF/微米深度高度测量机

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