TOKYOKEISO东京计装

样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型

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样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型与P-810一样，它被广泛用于各种半导体器件中。 我们还生产带报警触点的簧片开关类型。主要应用用于半导体制造设备标准规格测量目标一般气体、液体（水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）口径RC ： 1/4“ （标准

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样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型

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样品全新TOKYOKEISO东京计装 吹扫仪 P-820型

与P-810一样，它被广泛用于各种半导体器件中。 我们还生产带报警触点的簧片开关类型。

主要应用

用于半导体制造设备

标准规格

测量目标
一般气体、液体（水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）
口径RC ： 1/4“ （标准）， 1/8”
NPT ： 1/4“， 1/8”
SW ： 1/4“， 3/8” VCR ： 1/4“， 3/8”
流量范围空气

  • P-821 ：

  • 最大值：12 ~ 60 L/min（nor） 最小
    值：0.5 ~ 5 mL/min（nor）

  • P-823 ：

  • 最大值：6 ~ 60 L/min（nor） 最小
    值：5 ~ 50 mL/min（nor）


水

  • P-821 ：

  • 最大：0.4 ~ 2 L/min
    最小：5 ~ 50 mL/min

  • P-823 ：

  • 最大：0.2 ~ 2 L/min
    最小：5 ~ 50 mL/min


・流量范围的转换方法请参考P型功能和选择（TG-S0001）。
流体温度最高 120°C （取决于包装材料）
流体压力0.8 MPa 以下
测量精度P-823 ： ±3% 满量程
P-821 ： ±5% 满量程


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