在线报价TOKYOKEISO东京计装 节省空间的液体超声波流量计 UCUF-E系列
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UCUF-E系列液体用超声波流量计是专为测量超纯水和各种化学液体的小流量而设计的流量计，由UCUF-E型检测器和SFC型传感器组成。
UCUF探测器的所有接液部件均由半导体工业用PFA制成，没有运动部件，也没有O形圈等容易积液的机械密封
。 由于其理想的清洁结构，它是半导体设备等需要高度清洁度的过程的理想流量计。
SFC传感器显著减少了对流体中气泡的影响，这在半导体工艺和化学工艺中一直是一个问题。 为了响应各种化学溶液，它配备了校正功能，可以消除流体动力学和粘度的影响。 由于 RS485 通信，可以进行集中式过程管理。 （有关详细信息，请参阅换能器技术指南。 ）
特征
· EMC标准 ：EN61326-1 ： 2013/EN61326-2-3 ：2013
· 符合 RoHS 规范
· 带连接器结构的可拆卸传感器电缆
· 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
· 精度在读数值的 ±1% 以内（流速大于 1 m/s 时）
· 宽范围（典型值为 100：1）
· 理想的清洁结构检测器
· 耐腐蚀，易于安装
主要应用
· 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
· 各种化学品注入过程的流量测量
· 高腐蚀性液体的流量测量
· CMP浆料流量测量
· 其他、小~中直径工艺液体流量测量
· 适用于清洗设备和CMP设备的流量测量和控制
04E： 0 ~ 3000mL/min（最大）0 06E： 0 ~ 8000mL/min（最大） 0 04E： 读数的 ±1% （>800 mL/min），± 06E： 读数的 ±1% （>1700 mL/min），±主要技术指标
探测器规格
测量目标 所有液体（不含气泡的液体，混合物必须均匀溶解） 口径 04E：4毫米、06E：6毫米 流量范围
~ 50mL/min（最小）
~ 400mL/min（最小）流体温度 +10 ~ 60°摄氏度 流体压力 0~0.5MPa 过程连接 PFA 管端 测量精度
8 mL/min （>800 mL/min）
17 mL/min （>1700 mL/min）支持的转换器
格式 SFC3000 输入 传感器信号：专用电缆（BNC连接器） 脉冲输出 可
选择频率脉冲输出、积分脉冲输出或FAULT输出 集电极开路 额定负载：30 VDC、15 mA 以下
・频率脉冲输出
占空比 ： 1 ：1
脉冲率 ： 0 ~ 1000Hz （满量程）
・累计脉冲输出
单元：×0.1mL、×1mL、×10mL、×1L 脉冲
宽度：0.5ms、50ms、100ms
・FAULT输出（传感器和检测器异常时输出）
NO、NC可选电流输出 DC4~20mA负载电阻：500Ω以内 低截止 0 ~ 25% F.S 通信 RS485通讯功能 协议：MODBUS 最多可连接32台设备 权力 DC24V±10% 结构 IP20（室内） 建立 DIN导轨安装