在线报价TOKYOKEISO东京计装 节省空间的液体超声波流量计 UCUF-K系列
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UCUF-K系列液体用超声波流量计是为超纯水和各种化学液体的小规模流量测量而设计的流量计，由UCUF-K探测器和SFC型传感器组成。 UCUF探测器的所有接液部件均由半导体工业用PFA制成，没有运动部件，也没有O形圈等容易积液的机械密封。 由于其理想的清洁结构，它是半导体设备等需要高度清洁度的过程的理想流量计。
长处
· EMC标准 ：EN61326-1 ： 2013/EN61326-2-3 ：2013
· 符合 RoHS 规范
· 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
· 精度在读数值的 ±1% 以内（流速大于 1 m/s 时）
· 宽范围（典型值为 100：1）
· 理想的清洁结构检测器
· 耐腐蚀，易于安装
主要应用
· 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
· 各种化学品注入过程的流量测量
· 高腐蚀性液体的流量测量
· CMP浆料流量测量
· 其他、小~中直径工艺液体流量测量
· 适用于清洗设备和CMP设备的流量测量和控制
主要技术指标
探测器规格
测量目标 所有液体（不含气泡的液体，混合物必须均匀溶解） 口径 4毫米~20毫米 流量范围 最大：18.8 ~ 80 L/min（20K）最小
：0 ~ 0.8 L/min（04K）流体温度 +10 ~ +60°摄氏度 流体压力 0~0.5MPa（克） 过程连接 PFA 管端 测量精度 ±0.008 L/min ~ ±1% 支持的转换器
格式 SFC3000 SFC4000 安装 DIN导轨安装 面板安装