在线报价TOKYOKEISO东京计装 用于液体微流量的超声波流量计 UCUF-02M/SFC-010L在线报价TOKYOKEISO东京计装 用于液体微流量的超声波流量计 UCUF-02M/SFC-010L在线报价TOKYOKEISO东京计装 用于液体微流量的超声波流量计 UCUF-02M/SFC-010LUCUF-02M/SFC-010L是一款液体用超声波流量计。 它可以高精度地测量纯水、超纯水和
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UCUF-02M/SFC-010L是一款液体用超声波流量计。 它可以高精度地测量纯水、超纯水和各种化学液体的微小流量。 测量管的直径为 2.5 mm，涵盖了传统 UCUF 超声波流量计难以测量的广泛微小流量范围。 用于半导体行业的所有接液部件均由PFA制成，具有理想的清洁结构，没有运动部件，没有容易积液的密封件，非常适合需要清洁度的工艺，例如半导体制造设备。 流量计的入口和出口是标准尺寸的管子，可以连接到各种PFA配件。
· 这种小直径
超声波流量计成功地测量了内径φ2.5 mm的管道中的超声波传播，这是测量超声波传播所困难的。
· 微流速
的最小满量程设定范围：0 ~ 10 mL/min
· EMC标准：EN61326-1
· 符合 RoHS 规范
· 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
· 理想的清洁结构检测器
· 耐腐蚀，易于安装
· 精度：读数值的 ±1% 以内（流速 25 mL/min 或更高）
· 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
· 各种化学品注入过程的流量测量
· 高腐蚀性液体的流量测量
· CMP浆料流量测量
· 其他、小口径~中口径工艺液体流量测量
· 适用于清洗设备和CMP设备的流量测量和控制
1） 电流输出： DC4-20mA（负载电阻：500 Ω以下） 2）频率输出： 集电极开路脉冲 3）报警输出： 集电极开路（2 点） 额定负载主要技术指标
探测器规格
测量目标 一般液体（无气泡液体和不会渗透或腐蚀它们的 PFA） 口径 1/4" 流量范围 最大 0 ~ 100 mL/min
最小 0 ~ 10 mL/min
* 满量程设置为 10 mL/min 步骤流体温度 10 ~ 90°C 流体压力 0~0.5兆帕 过程连接 PFA 管端 测量精度 ±1% RD （25mL/min 或更高）
±0.25 mL/min （小于 25mL/min）
* 但是，当 20°C 的水流动时传感器规格
格式 SFC-010L型 显示 4 位 LED，瞬时流速 （mL/min） 输出
负载额定值：30 VDC，10 mA 0~1000 Hz
：30 VDC，10 mA权力 直流 24 V ±10 % 结构 IP20 （室内） 安装 DIN导轨安装