龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列
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龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列
龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列
CLFC300系列是集成了超声波流量计检测器、控制阀和执行流量计算和阀门控制的电路的流量控制器。
它配备了控制功能,可以以极快的速度跟随目标流速,可用于控制半导体设备中所需的各种液体,例如化学溶液的固定供应、DIW的流速控制、浆液的恒值控制。
传统的算术过程已经得到改进,以进一步提高对气泡的抵抗力。
流量测量的稳定性也得到了提高。
在阶跃响应性能方面,最新的算术电路实现了极快的响应,相对于设定值,控制速度在1.5秒内实现。
我们有用于化学品和 DIW 的针阀,以及用于浆液的夹管阀。
在夹管类型中增加了一种新的STA-PURE型Pcs管。
Stapure 管非常耐用,无需更换管子,而过去需要定期更换管子。
超声波流量计检测器、控制阀和电路都装在一个小壳中,安装在设备中时可以节省空间。
该结构经过重新设计,使传统产品更加紧凑。 (下降 20%)
随着小型化,重量也得到了减轻。 (下降 35%)
在安装中,只需连接流体入口和出口接头,电气布线采用多芯电缆进行,无需复杂的管道和布线。
电流消耗已减少。 (实际值下降35%)
它由符合 RoHS 标准的部件组成。
PFA和PTFE是极其耐腐蚀的材料,用于接液部件,可应用于半导体行业和处理化学品的各种行业。
PVDF也被用作外壳材料。
EN 61326-1:2006
通过在通过对计量泵和储罐加压来控制的各种化学品和DIW的供应管线中安装CLFC300,可以高精度和稳定性地控制供应的液体量。 当用纯水稀释化学溶液以控制一定浓度时,可以在化学溶液和纯水管路中安装CLFC300,以实现高级的浓度控制和浓缩。 通过在CMP设备的各种浆料供应管路中安装CLFC300,可以提供稳定的浆料供应和固定的供应,并且可以防止所用液体的浪费。主要应用
· 设置化学品和 DIW 的供应流量
· 浓度控制
· 浆液的稳定供应
主要技术指标
测量目标 一般液体(为了稳定测量,液体不应含有气泡。 ) 口径 Φ1/4 流量范围 用于浆料(夹管阀)
50~500mL/min用于纯水和化学液体(针阀)
最大 200~2000mL/min
最小 5~50mL/min流体温度 10 ~ 50 °C 流体压力 0.4 MPa 以下 过程连接 支柱 S300(标准),喇叭口 测量精度 ±0.2%(F.S.)