TOKYOKEISO东京计装

龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列

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龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列

龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列

龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 流量控制器 CLFC300系列

CLFC300系列是集成了超声波流量计检测器、控制阀和执行流量计算和阀门控制的电路的流量控制器。
它配备了控制功能,可以以极快的速度跟随目标流速,可用于控制半导体设备中所需的各种液体,例如化学溶液的固定供应、DIW的流速控制、浆液的恒值控制。

特征

  • · 提高可控性

    传统的算术过程已经得到改进,以进一步提高对气泡的抵抗力。
    流量测量的稳定性也得到了提高。

  • · 提高可控性

    在阶跃响应性能方面,最新的算术电路实现了极快的响应,相对于设定值,控制速度在1.5秒内实现。

  • · 两种阀门类型可供选择

    我们有用于化学品和 DIW 的针阀,以及用于浆液的夹管阀。
    在夹管类型中增加了一种新的STA-PURE型Pcs管。
    Stapure 管非常耐用,无需更换管子,而过去需要定期更换管子。

  • · 体积更小,重量更轻

    超声波流量计检测器、控制阀和电路都装在一个小壳中,安装在设备中时可以节省空间。
    该结构经过重新设计,使传统产品更加紧凑。 (下降 20%)
    随着小型化,重量也得到了减轻。 (下降 35%)

  • · 接线和管道

    在安装中,只需连接流体入口和出口接头,电气布线采用多芯电缆进行,无需复杂的管道和布线。

  • · 环保

    电流消耗已减少。 (实际值下降35%)
    它由符合 RoHS 标准的部件组成。

  • · 高耐腐蚀性

    PFA和PTFE是极其耐腐蚀的材料,用于接液部件,可应用于半导体行业和处理化学品的各种行业。
    PVDF也被用作外壳材料。

  • · EMC 一致性

    EN 61326-1:2006

主要应用

  • · 设置化学品和 DIW 的供应流量

    通过在通过对计量泵和储罐加压来控制的各种化学品和DIW的供应管线中安装CLFC300,可以高精度和稳定性地控制供应的液体量。

  • · 浓度控制

    当用纯水稀释化学溶液以控制一定浓度时,可以在化学溶液和纯水管路中安装CLFC300,以实现高级的浓度控制和浓缩。

  • · 浆液的稳定供应

    通过在CMP设备的各种浆料供应管路中安装CLFC300,可以提供稳定的浆料供应和固定的供应,并且可以防止所用液体的浪费。

主要技术指标

测量目标一般液体(为了稳定测量,液体不应含有气泡。 )
口径Φ1/4
流量范围用于浆料(夹管阀)
50~500mL/min
用于纯水和化学液体(针阀)
最大 200~2000mL/min
最小 5~50mL/min
流体温度10 ~ 50 °C
流体压力0.4 MPa 以下
过程连接支柱 S300(标准),喇叭口
测量精度±0.2%(F.S.)



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