深圳事务所TOKYOKEISO东京计装 迷你轮流量计 W-800型
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W-800系列微型轮式流量计是一种使用光学传感的液体叶轮流量计。
接液部件由含氟聚合物等完全非金属材料组成,非常适合测量半导体工艺中纯水、超纯水、化学液体等的流量
· 光电传感器检测叶轮转速并测量流量。
· 基于含氟聚合物主体的其他接液部件的材料选择
· 兼容纯水、超纯水、化学液体等。
· 最小量程 : 0.04 ~ 0.2 L/min, 最大量程 : 5 ~ 50 L/min
· 管端连接或Rc螺纹连接
· 符合 RoHS 规范
主要技术指标
测量液 各种液体(粘度为2mPa・s以下的渗透性液体) 口径 1/4 ~ 3/4 流量范围 最大 5 ~ 50L/min
. 0.04 ~ 0.2L/min流体温度 最高 50°C (无冷凝,无冻结) 流体压力 0.29MPa以下 过程连接 RC螺纹,管端 测量精度 ±5% FS (W-811.812.813.814.815)
±3% FS (W-816.817.818.819.810)