技术指导TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TF-5000/6000 系列
技术指导TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TF-5000/6000 系列技术指导TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TF-5000/6000 系列技术指导TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TF-5000/6000 系列TF-5000/6000系列是气体用热式质量流量计，可以测量各种气体的质量流量，不受压力、温度等工艺条件的影响。它适用于广泛的应用，其产品阵容涵盖最
技术指导TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TF-5000/6000 系列
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技术指导TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TF-5000/6000 系列
TF-5000/6000系列是气体用热式质量流量计，可以测量各种气体的质量流量，不受压力、温度等工艺条件的影响。
它适用于广泛的应用，其产品阵容涵盖最小满量程为 5 mL/min （nor）、最大满量程为 500 L/min （nor）、最大工作压力为 32 MPa。
特征
・范围广
我们的产品范围从5 mL/min （nor）到500 L/min（nor），最大工作压力为32 MPa，可以处理从设备集成到过程控制的广泛应用。
- 高精度
它以±1.0%F.S.的高精度测量各种气体的质量流量。
- 高可靠性
我们以热学理论为基础，通过多年培养的流量计技术保证可靠性和耐久性。
・周边设备
配备 TM-2000 转换器，系统可轻松配置。
主要技术指标
测量目标 所有气体（但不含氯气和硫磺等腐蚀性气体） 口径 1/4、3/8、1/2、3/4、1 流量范围 最大值：0 ~ 500 L/min（nor） 最小
值：0 ~ 5m L/min（nor）流体温度 5 ~ 50°摄氏度 流体压力 0.98 MPa 以下 （高压用：最大32MPa） 过程连接 Rc 螺钉、NPT（F） 螺纹、Swagelock、VCR、JIS10K 法兰 测量精度 ±1% F.S. （25°C 标准）