样品全新TOKYOKEISO东京计装 热式质量流量计 TC-1000/2000型
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TC-1000/2000 是一款质量流量控制器，它结合了气体热式质量流量计和控制阀。 有用于一般用途的 TC-1000 和用于高压的 TC-2000。 质量流量测量不受压力和温度变化的影响，可以高精度控制各种气体的流量。
特征
· 确保各种气体的恒定流速
· 两种气体与质量流量计按比例混合
· 各种半导体制造工艺
· 适用于各种分析仪器
· 腐蚀性气体管路的流量控制
· 用于新材料和新器件的研究和开发
主要技术指标
TC-1000 通用 高压TC-2000 测量目标 一般气体 口径 1/4、3/8、1/2、3/4、1 流量范围 最大 0mL ~ 500L/min（nor）， 最小
0mL ~ 5mL/min（nor）最大 0mL ~ 100L/min（nor），
最小 0mL ~ 50mL/min（nor）流体温度 5 ~ 50 °C 流体压力 0.99 MPa 以下 最大 10 MPa 过程连接 RC螺丝、SW、VCR、VCO等 Rc 螺钉，NPT，SW 测量精度 ±1% F.S. （25°C 标准）