样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型HM5000是一款用于气体的质量流量计。 有通用型和高性能型两种类型，您可以根据自己的应用和目的进行选择。特征· 流量范围广0.5 mL/min （nor） 和 0.400 L/min
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
HM5000是一款用于气体的质量流量计。 有通用型和高性能型两种类型，您可以根据自己的应用和目的进行选择。
特征
· 流量范围广
0.5 mL/min （nor） 和 0.400 L/min （nor） 的宽范围
· 高精度
±1% F.S.（高性能型）
· 通过使用混合 IC 提高可靠性和小型化
· 功能可以作为选项进行升级
软启动功能（仅限常闭型）
输出信号 1.5VDC
· 一般工业流程 · 各种化学分析 · 半导体制造工艺 · 气体恒流控制、混合控制 · 内置设备用法
主要技术指标
类型
通用质量流量计
HM5122B， HM5123B
质量流量控制器
HM5172B， HM5182B
HM5173B高性能
质量流量计
HM5111B、HM5112B HM5113B
质量流量
控制器 HM5141B、HM5151B
HM5142B、HM5152B
HM5143B测量目标 一般气体 口径 1/4"、3/8"、1/2" 流量范围 最大：0 ~ 400L/min（nor） 最小
：0 ~ 30L/min（nor）最大值：0 ~ 400L/min（nor） 最小
值：0 ~ 5mL/min（nor）流体温度 5 ~ 45°C 流体压力 0.97MPa以下 过程连接 标准：SW（选项：VCR、VCO） 测量精度 ±2.0% ~ ±4.0%F.S ±1.0% ~ ±2.0%F.S