样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型HM5000是一款用于气体的质量流量计。 有通用型和高性能型两种类型，您可以根据自己的应用和目的进行选择。特征· 流量范围广0.5 mL/min （nor） 和 0.400 L/min
- 型号：
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
样品全新TOKYOKEISO东京计装 质量流量计/控制器 HM5000型
HM5000是一款用于气体的质量流量计。 有通用型和高性能型两种类型，您可以根据自己的应用和目的进行选择。
特征
· 流量范围广
0.5 mL/min （nor） 和 0.400 L/min （nor） 的宽范围
· 高精度
±1% F.S.（高性能型）
· 通过使用混合 IC 提高可靠性和小型化
· 功能可以作为选项进行升级
软启动功能（仅限常闭型）
输出信号 1.5VDC
用法
· 一般工业流程
· 各种化学分析
· 半导体制造工艺
· 气体恒流控制、混合控制
· 内置设备
主要技术指标
| 类型 | 通用质量流量计 HM5122B， HM5123B 质量流量控制器 HM5172B， HM5182B HM5173B | 高性能 质量流量计 HM5111B、HM5112B HM5113B 质量流量 控制器 HM5141B、HM5151B HM5142B、HM5152B HM5143B |
|---|---|---|
| 测量目标 | 一般气体 | |
| 口径 | 1/4"、3/8"、1/2" | |
| 流量范围 | 最大：0 ~ 400L/min（nor） 最小 ：0 ~ 30L/min（nor） | 最大值：0 ~ 400L/min（nor） 最小 值：0 ~ 5mL/min（nor） |
| 流体温度 | 5 ~ 45°C | |
| 流体压力 | 0.97MPa以下 | |
| 过程连接 | 标准：SW（选项：VCR、VCO） | |
| 测量精度 | ±2.0% ~ ±4.0%F.S | ±1.0% ~ ±2.0%F.S |