龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 节省空间的液体超声波流量计 UCUF-M系列
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龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 节省空间的液体超声波流量计 UCUF-M系列
龙华仓库自提TOKYOKEISO东京计装 节省空间的液体超声波流量计 UCUF-M系列
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UCUF-M系列液体用超声波流量计是为超纯水和各种化学液体的小规模流量测量而设计的流量计，由UCUF-M型检测器和SFC型传感器组成。 UCUF探测器的所有接液部件均由半导体工业用PFA制成，没有工作部件，也没有O形圈等容易积液的机械密封。 由于其理想的清洁结构，它是半导体设备等需要清洁度的过程的理想流量计。 SFC传感器显著减少了对流体中气泡的影响，这在半导体工艺和化学工艺中一直是一个问题。 为了响应各种化学溶液，它配备了校正功能，可以消除流体动力学和粘度的影响。 DIN导轨安装类型是节省空间的理想选择。 由于 RS485 通信，可以进行集中式过程管理。 （有关详细信息，请参阅换能器技术指南。 )
特征
· EMC标准：EN61326-1
· 符合 RoHS 规范
· 统一连接管间距 80 mm
· 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
· 精度在读数值的 ±1% 以内（流速大于 1 m/s 时）
· 宽范围 abiridi （典型值 100 ： 1）
· 理想的清洁结构检测器
· 耐腐蚀，易于安装
主要应用
· 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
· 各种化学品注入过程的流量测量
· 高腐蚀性液体的流量测量
· CMP浆料流量测量
· 其他、小口径~中口径工艺液体流量测量
· 适用于清洗设备和CMP设备的流量测量和控制
主要技术指标
探测器规格
测量目标 一般液体 口径 2.5 〜 20毫米 流量范围 最大：18.8 ~ 80 L/min 最小
：0 ~ 0.025 L/min流体温度 10 ~ 90°C 流体压力 0.5 MPa 以下 过程连接 PFA 管端 测量精度 ±1.0%（流速1m/s以上）