KITZ北泽

日本KITZ北泽玉崎F50SB50T-X2半导体多功能过滤器

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[中空纤维膜] 全PE胶囊/滤芯过滤器


特征

完全由聚乙烯制成(中空纤维膜、外壳)

广泛的耐化学性

过滤精度从 5nm 到 0.1μm 的产品阵容

产品阵容包括墨盒 (10"/20") 和胶囊 (3"/5")

具有凝胶状异物去除能力,有效减少缺陷

特殊材料+特殊清洗处理减少金属和有机物的溶出

中空纤维膜结构实现了高流量、低压力损失和长寿命,

有助于提高过滤过程的生产率。


应用实例

抗蚀剂及抗蚀剂原料的过滤

稀释剂和显影剂的过滤

有机和无机化学品的过滤

减反射膜(TARC、BARC)的过滤

清洗液、剥离液、蚀刻液的过滤

超纯水和酒精过滤







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