日本KITZ北泽玉崎F50SB50F-L2半导体多功能过滤器
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[中空纤维膜] 全PE胶囊/滤芯过滤器
特征
完全由聚乙烯制成(中空纤维膜、外壳)
广泛的耐化学性
过滤精度从 5nm 到 0.1μm 的产品阵容
产品阵容包括墨盒 (10"/20") 和胶囊 (3"/5")
具有凝胶状异物去除能力,有效减少缺陷
特殊材料+特殊清洗处理减少金属和有机物的溶出
中空纤维膜结构实现了高流量、低压力损失和长寿命,
有助于提高过滤过程的生产率。
应用实例
抗蚀剂及抗蚀剂原料的过滤
稀释剂和显影剂的过滤
有机和无机化学品的过滤
减反射膜(TARC、BARC)的过滤
清洗液、剥离液、蚀刻液的过滤
超纯水和酒精过滤