技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100B
技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100B技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100B技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100BMF1100B系列是实现高性能和低价格的质量流量计和质量流量控制器。 从5 SCCM~20 SLM有15个流量范围，因此您可以轻松用于分析和工业用途。长处■ 高可靠性 通过集成内部电路，实现
技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100B
技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100B
技术指导OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF1100B
MF1100B系列是实现高性能和低价格的质量流量计和质量流量控制器。 从5 SCCM~20 SLM有15个流量范围，因此您可以轻松用于分析和工业用途。
长处
■ 高可靠性 通过集成
内部电路，实现了可靠性和紧凑性。
■ 高兼容性 可以使用与
我们的 MF5100B 系列相同的管道连接、电源和设置设备。
■丰富的外围设备
提供端子、设置设备、电源和带连接器的电缆等外围设备。
规范
| 型 | 质量流量计 | 质量流量控制器 | ||
|---|---|---|---|---|
| 标准范围 | 低价产品 | 通用产品 | 低价产品 | 通用产品 |
| 控制范围 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（NC） MF1181B（NO） | MF1141B（NC） MF1151B（NO） |
| 准确度等级 | 0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM 0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃 0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃 0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃 0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃 | 0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM 0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃 0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃 0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃 1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃 | ||
| 控制范围 | － | 2~100%F.S | ||
| 准确度等级 | ±2%FS以下 | ± 1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ± 1.5%FS以下 |
| 线性 | ±1%FS以下 | ± 0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ± 0.7%FS以下 |
| 再现性 | ± 0.2%FS以下 | ± 0.2%FS以下 | ± 0.2%FS以下 | ± 0.2%FS以下 |
| 响应时间 | 收敛时间在设定值的 ±2% F.S. 以内，约 3 秒内 | |||
| 最大工作压力 | 1.0兆帕 | |||
| 压力 | 1.5兆帕 | |||
| 压降 | 5.0千帕 | |||
| 工作压差 | － | 5SCCM~5SLM ： 34~275kPa 10~20SLM ： 69~275kPa | ||
| 流量设定 | － | 0~5V 直流 | 0~5V DC（标准）1 ~5V DC（可选） | |
| 输出信号 | 0~5V 直流 | 0~5V DC（标准）1 ~5V DC（可选） | ||
| 工作温度范围 | 5~45°C（气体温度相同） | |||
| 安装姿态误差 | ± 0.5% FS 以下（安装姿势自由） | |||
| 泄漏标准 | 1.013×10-9・m3/s（He）以下（典型值） | |||
| 管道连接 | 1/4 世伟洛克（标准）、VCR（可选） | |||
| 气体接触材料 | SUS316，氟橡胶 | SUS316、氟橡胶、含氟聚合物 | ||
| 质量 | 约680g | 约800g | ||
| 功耗 | 1VA以下 | 3VA以下 | ||