货期短OHKURA大仓 质量流量计和质量流量控制器 MF5100B
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流量范围广 流量范围广,从最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。
■高可靠性
通过集成每个电路并优化机械系统,尽管体积小,但我们实现了高可靠性。
■ 软启动功能
主机内置的软启动功能为线性上升,时间可调(最长70秒),并以三种不同的模式运行(更改设置时、打开电源时、外部阀门关闭→打开时)。
■ 高稳定性
:温度稳定性为0.05%/°C,泄漏标准可达1×10-10Pa·m3/s(He)。
* 有关规格,请参阅规格表。