货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A
货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A这是一种金属隔膜减压阀,可用于掺杂和外延等半导体行业,用于各种化学分析,用于特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。长处■ 清洁材料隔膜采用金属粘接,与主体密封,所有产品均经过尕检漏、无油、无水、清洁。■ 通用性高高压和低压共有8种类型,
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■ 清洁材料
隔膜采用金属粘接,与主体密封,所有产品均经过尕检漏、无油、无水、清洁。
■ 通用性高
高压和低压共有8种类型,面板是和底部是可能的。
项目 | 高压 RD210A1□1□ | 用于 低压 RD210A4□2□ |
---|---|---|
压力 | 最大24.5MPa | 最大2.94MPa |
一次压力 | 最大 14.7MPa | 最大 2MPa |
设定压力范围 | 171.6千帕 343千帕 686千帕 1372千帕 2059千帕 | 171.6千帕 343千帕 686千帕 |
有效孔口 | φ0.7 | φ2 |
CV值 | 0.015 | 0.1 |
一次压力特性*1 | 0.5% *1 一次压力特性(设定压力波动范围/一次压力波动范围) ×值 100 (at 10 l/min) | 1.3% *1 一次压力特性(设定压力波动范围/一次压力波动范围) ×值 100 (at 10 l/min) |
再现性 | ±0.98kPa | |
磁滞现象 | ±3.92kPa | |
外部泄漏 | 1.013×10-10Pa・m3/s(He)以下 | |
内部泄漏 | 1.013×10-8Pa・m3/s(He)以下 | |
接液流体部件的材料 | SUS316,SUS316L,PCTFE | |
工作温度范围 | -10~80°C | |
港口 | 60°进×2出×2 | 90°进×1出×2 |
连接端口 ( Connection VCR ) | 1/4NPT Rc1/4 VCR1/4GR *2 *2 VCR 是世伟洛克公司的注册商标。 | |
质量 | 920克 | |
面板切割 | φ33 |