OHKURA大仓

货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A

货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀 RD2210A这是一种金属隔膜减压阀,可用于掺杂和外延等半导体行业,用于各种化学分析,用于特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。长处■ 清洁材料隔膜采用金属粘接,与主体密封,所有产品均经过尕检漏、无油、无水、清洁。■ 通用性高高压和低压共有8种类型,

货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀  RD2210A

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货期短OHKURA大仓 金属隔膜减压阀  RD2210A

这是一种金属隔膜减压阀,可用于掺杂和外延等半导体行业,用于各种化学分析,用于特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。
长处

■ 清洁材料
隔膜采用金属粘接,与主体密封,所有产品均经过尕检漏、无油、无水、清洁。

■ 通用性高
高压和低压共有8种类型,面板是和底部是可能的。

规范
项目高压
RD210A1□1□
用于
低压 RD210A4□2□
压力最大24.5MPa最大2.94MPa
一次压力最大 14.7MPa最大 2MPa
设定压力范围171.6千帕
343千帕
686千帕
1372千帕
2059千帕
171.6千帕
343千帕
686千帕
有效孔口φ0.7φ2
CV值0.0150.1
一次压力特性*10.5%
*1 一次压力特性(设定压力波动范围/一次压力波动范围) ×值 100 (at 10 l/min)
1.3%
*1 一次压力特性(设定压力波动范围/一次压力波动范围) ×值 100 (at 10 l/min)
再现性±0.98kPa
磁滞现象±3.92kPa
外部泄漏1.013×10-10Pa・m3/s(He)以下
内部泄漏1.013×10-8Pa・m3/s(He)以下
接液流体部件的材料SUS316,SUS316L,PCTFE
工作温度范围-10~80°C
港口60°进×2出×290°进×1出×2
连接端口
( Connection VCR )
1/4NPT
Rc1/4
VCR1/4GR *2
*2 VCR 是世伟洛克公司的注册商标。
质量920克
面板切割φ33


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