货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000
货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000卧式扩散炉是一种进行热处理的系统，热处理是半导体制造过程的一部分。 其结构是加热器室水平安装，2~4级堆叠，垂直空间得到有效利用。 热处理的类型包括扩散和氧化，加工温度范围从低温~高温，我们使用自己的高性能控制器来支持广泛的工艺。长处■ 提高热量均匀
货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000
货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000
货期短OHKURA大仓 卧式扩散炉 DF1000
卧式扩散炉是一种进行热处理的系统，热处理是半导体制造过程的一部分。 其结构是加热器室水平安装，2~4级堆叠，垂直空间得到有效利用。 热处理的类型包括扩散和氧化，加工温度范围从低温~高温，我们使用自己的高性能控制器来支持广泛的工艺。
长处
■ 提高热量均匀性 将与
工作温度相匹配的加热器与内部高性能控制器相结合，可实现稳定的温度控制和热量均衡长度。
■ 兼容100~200mm晶圆
扩散炉系统是满足φ100mm至φ200mm客户需求的扩散炉。
■易于维护
：当其他加热器处于高温状态时，可以安全地更换热电偶和加热器。
■ 性价比 由于所用零件
的选择和精简的结构，我们实现了低价格。
■ 兼容
更新 我们还可以通过最小化外部尺寸来应对旧的和有限的空间系统的更新。
规范
| 晶圆尺寸 | ~φ200毫米 | ~φ150毫米 | ~φ125毫米 | ~φ100毫米 |
|---|---|---|---|---|
| 炉体尺寸 *1 | 宽 2650mm× 深 1200mm× 高 2580mm | 宽 2300mm× 深 850mm× 高 2395mm | 宽 2180mm× 深 850mm× 高 2395mm | 宽 1850mm× 深 700mm× 高 2150mm |
| 均衡加热长度 *2 | 900mm±1.0°C （No.GAS） | 900mm±1.0°C （No.GAS） | 800mm±1.0°C （No.GAS） | 800mm±1.0°C （No.GAS） |
| 温度范围 | 600~1200°C | 600~1200°C | 600~1200°C | 600~1200°C |
| 温度控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 |
| 输送系统（选配） | 软装载机 船用升降机 | 软装卸机 船用升降机 船用装载机 | 软装卸机 船用升降机 船用装载机 | 船用装载机 |