样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型
样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型长处带传感器单元更换型的固定式半导体材料气体检测仪交付时配有经过校准的传感器单元，可随时更换，无需进行现场气体校准支持 NF3 检测兼容 Modbus （RS-485/以太网） （PS-7-M） * 以太网通信支持
样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型
样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型
样品全新COSMOS新宇宙 Cosmos气体检测仪 PS-7型
长处
带传感器单元更换型的固定式半导体材料气体检测仪
交付时配有经过校准的传感器单元，可随时更换，无需进行现场气体校准
支持 NF3 检测
兼容 Modbus （RS-485/以太网） （PS-7-M） * 以太网通信支持 PoE
符合 CE 和 SEMI 标准
用
半导体工厂中半导体材料气体泄漏的检测
◆便携式泰国（传感器单元更换方法）半导体材料气体检测单元 XPS-7II型
◆ 便携式泰国半导体材料气体检测仪 XP-703DIII型
◆ 无线转换器，可无线转换信号线 WC-7L型
规范
目标气体 半导体材料：气体、氢气、氧气 检测原理 半导体材料气体：恒定电位电解型
氢气：热丝半导体型
氧气：原电池型气体采样法 自动吸引 检测范围 取决于规格 报警 [报警设定值]
取决于规格
[报警方式]
红色 LED lamp
闪烁 LCD 屏幕 第 1 阶段：ALARM1 第 2 阶段：ALARM1、ALARM2 显示大小 W62×H124×D143mm（不包括选件和突出部分） 质量 约1.0kg 工作温度和湿度范围 0°C~40°C（无突然变化），30~85%RH（无凝露） 使用的电源 DC24V±10% 功耗 约7W 外部输出 ・气体浓度模拟输出DC4-20mA（与负电源通用）
・气体报警触点（1级和2级） 1A无电压接点/自动恢复
・故障报警触点（集电极开路/自动恢复）