【AND爱安德】AD-199-5偏转放大器
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- 型号： AD-199-5
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由于半导体微型化领域的持续竞争，对 DAC 的要求越来越严格。A&D 的 ±320V 输出就是一个例子，其精度为 20 位，稳定时间为 10µS。精度和速度之间的矛盾因素是一个主要问题，因为电子束的定位误差会影响图案写入精度，但高速性能是提高吞吐量所必需的。
A) 偏转放大器主要规格
型号 AD-199-5
| 输出电压 | 最大±400V |
|---|---|
| 建立时间 | 60 µS（全摆幅） |
| 解决 | 18 位 |
| 线性 | ±1/2LSB（17 位） |
| 温度系数 | < ±8ppm/2°C, 1小时 |
| 噪音 | < ±1LSB |