【京都玉崎】【ULVAC爱发科】气体分析仪RGM2-302

CVD/ALD/蚀刻工艺型号：RGM2-302反应性工艺气体监测器Qulee RGM2-302是一款配备差分泵送系统的工艺监测器，可与“Qulee”蚀刻、CVD等反应性工艺兼容。ULVAC独特的离子源和泵送系统结构对反应性气体具有出色的耐腐蚀性，并可实现长时间的稳定测量。前往产品信息

• 型号： RGM2-302