【京都玉崎】【ULVAC爱发科】高速光谱椭偏仪UNECS-1500A

自动型型号：UNECS-1500AUNECS系列是一款光谱椭偏仪，可高速、高精度地测量薄膜厚度和折射率。它采用独特的测量方法，实现了高速测量和紧凑尺寸。UNECS-1500A配备150mm自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量基板表面内的膜厚分布，并以彩色图的形式

• 型号： UNECS-1500A